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安徽省高校省级自然科学研究项目(2005kj034zd)

作品数:2 被引量:2H指数:1
相关作者:蒋百灵严少平段冰顾广颐孙雅琴更多>>
相关机构:安徽理工大学西安理工大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
相关领域:一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇显微硬度
  • 2篇非平衡磁控溅...
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇性能研究
  • 1篇微观结构
  • 1篇摩擦学
  • 1篇摩擦学性能
  • 1篇CR
  • 1篇掺铬

机构

  • 2篇安徽理工大学
  • 2篇西安理工大学

作者

  • 2篇严少平
  • 2篇蒋百灵
  • 1篇李洪涛
  • 1篇张永宏
  • 1篇陈迪春
  • 1篇孙雅琴
  • 1篇顾广颐
  • 1篇段冰

传媒

  • 2篇安徽理工大学...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究被引量:1
2007年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,以电流控制方式在高速钢和硅基底上制备了不同Cr含量的C/Cr类石墨薄膜,测量了类石墨膜的显微硬度、膜基结合强度、摩擦系数和比磨损率,分析了薄膜的相结构,观察了薄膜的表面和断面形貌。结果表明:所制备的类石墨薄膜随Cr含量的增高,硬度逐渐降低,结合强度先增后降,摩擦系数和比磨损率则先降后升;类石墨膜是含有多种纳米晶的非晶结构;金属元素Cr含量影响了类石墨碳膜的表面形貌和组织结构。当Cr含量在0.5%~2.5%时,薄膜表面光滑而结构致密,摩擦系数小且比磨损率低,膜基结合强度高,具有良好减摩耐磨性能。
严少平蒋百灵段冰顾广颐孙雅琴
关键词:摩擦学性能非平衡磁控溅射显微硬度
非平衡磁控溅射掺Cr类石墨镀层的结构分析被引量:1
2009年
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调节Cr靶的溅射功率,在单晶硅基片上沉积制备了一系列不同Cr含量的类石墨(Cr-GLC)镀层样品。利用Raman光谱仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子电镜(TEM)、显微硬度计分析了Cr-GLC的微观结构和显微硬度。结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Cr-GLC镀层,随Cr含量的增高,硬度逐渐降低并趋于稳定。当Cr含量小于4%时,Cr只以单质非晶态分布于非晶GLC中,Cr的掺杂降低了内应力;当Cr含量超过4%后,还有CrC_X纳米晶存在于非晶态的GLC中;镀层由C、Cr和CrC_X纳米晶粒组成非晶结构。
严少平蒋百灵张永宏陈迪春李洪涛
关键词:微观结构显微硬度
共1页<1>
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