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中国科学院知识创新工程重要方向项目(07JC14058)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：李亚军褚君浩胡古今石刚更多>>
相关机构：上海太阳能电池研究与发展中心中国科学院更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目上海市基础研究重大（重点）项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇薄膜微结构
  • 1篇ZNS薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备
  • 1篇ZNS

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇上海太阳能电...

作者

  • 1篇石刚
  • 1篇胡古今
  • 1篇褚君浩
  • 1篇李亚军

传媒

  • 1篇红外与毫米波...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原位退火对磁控溅射制备的ZnS薄膜微结构和发光性能的影响被引量：5
2011年
采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了系列ZnS薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和荧光分光光度计研究了Ar气氛中300～500℃原位退火对薄膜微结构和发光性能的影响.结果表明,退火温度对ZnS薄膜的结晶性能和晶粒大小的影响不大,但会显著影响其发光特性.低温退火处理的薄膜的PL谱具有多个发光峰,而500℃退火的薄膜则表现为单一发光峰结构.PL谱的这种变化是由于退火引起ZnS薄膜中的缺陷种类和浓度变化所致.
石刚李亚军左少华江锦春胡古今褚君浩
关键词：ZNS薄膜光致发光磁控溅射
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