上海市科学技术发展基金(0259nm-034)
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
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- 相关机构：同济大学桂林电子科技大学更多>>
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- 铬原子束激光感生荧光稳频技术理论分析被引量：5
- 2006年
- 在铬原子光刻中可采用铬原子束激光感生荧光(LIF)来实现激光频率的稳定,以满足原子光刻对激光频率稳定性的要求。激光感生荧光稳频技术除有很高的稳频精度以外,还可以获得相对于原子共振频率的一定失谐量。本文根据已有的实验条件和参数从铬原子束的速率分布、激光频率与荧光斑点中心横向位移的关系、二象限光电探测器测得的误差信号等方面对铬原子束激光感生荧光(LIF)稳频技术作了理论分析。
- 张宝武李同保郑春兰马艳
- 关键词：原子光刻
- ^(52)Cr原子束激光生荧光稳频技术被引量：5
- 2005年
- 通过分析52Cr原子光刻对激光系统的技术要求,详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光(LIF)光 谱技术的稳频方法。
- 张宝武李同保郑春兰
- 关键词：原子光刻激光稳频
- 原子光刻及关键技术分析
- 2006年
- 文章对原子光刻进行了深入的分析,介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案,针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积等关键技术,进行了分析和探讨。
- 张文涛
- 关键词：原子光刻激光稳频
- 用于铬原子光刻的超高真空原子源的研制被引量：1
- 2007年
- 原子光刻技术中,良好原子源的产生是最为基础的条件。针对实验中对原子束的具体要求,设计了一套超高真空原子源产生装置,主要参数为:系统工作真空度优于5.0×10-5Pa,铬原子源温度为1650℃,铬原子最可几速率为960m/s,原子炉口所喷射出的铬原子数为N=1.5×1017s-1。
- 张文涛李同保
- 关键词：原子光刻超高真空
