国家自然科学基金(50775250)
- 作品数：3 被引量：19H指数：2
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- 相关机构：中国计量学院浙江机电职业技术学院浙江大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术机械工程自动化与计算机技术更多>>
- SiO_2薄膜制备的现行方法综述被引量：13
- 2009年
- 在导电基体上制作薄膜传感器的过程中,需要在基体与薄膜电极之间沉积一层绝缘膜。二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性能,并且稳定性好,膜层牢固,长期使用温度可达1000℃以上,应用十分广泛。通常制备SiO2薄膜的现行方法主要有磁控溅射、离子束溅射、化学气相沉积、热氧化法、凝胶-溶胶法等。本文系统阐述了各种方法的基本原理、特点及适用场合,并对这些方法做了比较。
- 曾其勇郑晓峰
- 关键词：二氧化硅
- 影响切削工件表面质量的因素分析及要因的检测系统设计被引量：5
- 2012年
- 采用因果分析图等质量分析工具分析了影响切削加工工件表面质量的原因,并找出了影响表面粗糙度的主要因素是切削力、切削温度和机械设备振动。针对切削力和切削温度影响因素,将薄膜热电偶技术引入切削温度检测,设计了一套切削力和切削温度的完整检测系统。试验表明,该检测系统人机交互作用强,操作简单,使用方便。
- 曾其勇吴凯郑晓峰朱明严瑞琪
- 关键词：切削力切削温度
- 基于薄膜热电偶的高速切削动态温度监测系统设计被引量：1
- 2011年
- 提出了一种基于薄膜热电偶传感器的高速切削动态温度监测新方法。采用磁控溅射、光刻技术、PECVD等方法在立方氮化硼(PCBN)高速切削车刀前刀面上沉积多层薄膜,制备NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器。详细阐述了薄膜温度传感器的制备过程,设计了高速切削温度和切削力的数据采集与监测系统。以高速数据采集卡PCI-9118为硬件,结合Tchart控件,采用VC++编制简洁友好的人机界面来实现对高速切削温度和切削力数据的实时采集、显示与分析。试验表明,设计的数据采集和监测系统使用方便、灵活、可靠。
- 曾其勇郑晓峰吴凯余忠华陈乐
- 关键词：薄膜热电偶切削温度切削力数据采集监测系统
