国家自然科学基金(50775189)
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 相关作者：苑伟政任森安鹏王震赵阳更多>>
- 相关机构：西北工业大学浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省重点科技创新团队项目更多>>
- 相关领域：电子电信建筑科学自动化与计算机技术理学更多>>
- A new micro programmable blazed grating (μPBG) and its application to multispectral imaging
- 2010年
- 一个新微可编程的燃烧栅栏(PBG ) 被设计，制作并且描绘了使用二层的多晶硅表面 micromachining 过程。介绍的 PBG 在结构简单并且有为一个宽波长范围的连续光谱的调节的能力。最大化运作的燃烧角度，当为栅栏条板的关键部件，和它的高度接近了空气差距，酒窝结构被采用。由大小，发达 PBG 样品能到达 5.19 的一个最大的燃烧角度 ???????? 瘠瑡牥瑩吗？
- YU YiTing YUAN WeiZheng YAN Bin LI TaiPing JIANG ChengYu
- 关键词：多光谱成像闪耀光栅PBG
- 一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用被引量：1
- 2009年
- 采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.
- 虞益挺苑伟政燕斌李太平姜澄宇
- 关键词：多光谱成像
- 仿生声压梯度敏感结构设计及加工方法研究被引量：2
- 2010年
- 对寄生蝇指向性听力的形成原理进行了说明。以寄生蝇相互耦合的两鼓膜为原形,设计了一种仿生的声压梯度敏感结构。推导了平面简谐波作用于敏感结构的转矩与结构尺寸及声压梯度之间的关系。给出了基于SOI硅片的声压梯度敏感结构加工方法。确定了台阶结构光刻、SOI硅片与玻璃阳极键合、湿法去除SOI硅片基底层等关键工艺的相关工艺参数。器件的加工结果表明,具有三维结构的声压梯度敏感结构可以通过体加工工艺来实现。
- 安鹏苑伟政任森
- 关键词：MEMS仿生微细加工
- 一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
- 2012年
- 设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增大30倍,相位差最高增大126°,当入射角度变化量为80°时,相位差变化量增大了40°,传感器指向性得到了显著提高。此种设计有助于促进声矢量传感器的发展。
- 刘振亚苑伟政邓进军任森马骋宇
- 关键词：微机电系统声矢量传感器相位差
- 膜结构大变形分析的向量式有限元4节点膜单元被引量：2
- 2013年
- 基于向量式有限元基本原理,首先推导了4节点膜单元的基本公式,详细阐述了通过逆向运动获得单元节点纯变形位移的过程,以及进一步通过变形坐标系获得单元节点内力的求解方法;同时对4节点膜单元的位置模式和内力计算的数值积分等问题提出了合理可行的处理方法。在此基础上编制了4节点膜单元的计算分析程序,通过算例分析验证了理论公式和所编制程序的正确性和有效性,进而将本文方法应用于气枕充气和布料悬垂等膜结构大变形大转动问题的计算分析。
- 王震赵阳
- 关键词：膜结构向量式有限元
