国家教育部博士点基金(20040487026)
- 作品数：5 被引量：20H指数：4
- 相关作者：刘胜张鸿海范细秋贾可甘志银更多>>
- 相关机构：华中科技大学中国电子科技集团第十三研究所浙江海洋学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术动力工程及工程热物理更多>>
- 分子动力学模拟研究具有"荷花效应"的微流通道
- 2005年
- 采用非平衡分子动力学模拟(NEMD)分析了流体在具有"荷花效应"的微流通道中的边界滑移现象.选择不同尺度的纳米级图样、通道管壁厚度、不同的密度和温度分别进行了多次模拟分析,根据模拟结果对比分析了以上各参数对流体流动方向的速度分布、速度最大值及其在通道中流动垂直方向上的位置的影响,确定了适宜的条件,使得通道中流体的速度滑移达到最大,流速这到最快.从对模拟结果的分析可知,流体流动方向的速度在通道上下边界的值及其最大值受到纳米图样高度和通道内径影响显著;在对不同密度的流体的模拟分析中发现,最大速度滑移与最大流速对应不同的流体密度.
- 贾可张鸿海范细秋刘胜
- 关键词：速度滑移
- 分子动力学模拟研究具有“荷花效应”的微流通道
- 采用非平衡分子动力学模拟(NEMD)分析了流体在具有“荷花效应”的微流通道中的边界滑移现象。逸择不同尺度的纳米级图样、通道管壁厚度、不同的密度和温度分别进行了多次模拟分析,根据模拟结果对比分析了以上各参数对流体流动方向的...
- 贾可张鸿海范细秋刘胜
- 关键词：速度滑移
- 文献传递
- 纳米压印光刻技术
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制,难以制作成线宽小于100nm的图案。有可能成为下一代光刻技术的极紫外线光刻、X光光刻、电子柬投影等技术,虽然能克服线宽小于100nm时引起的衍射限制,但系统复杂,造...
- 范细秋张鸿海汪学方贾可刘胜
- 关键词：光刻纳米压印
- 文献传递
- 一种高效率低成本制作微透镜阵列的方法被引量：4
- 2006年
- 通常采用的多次掩模光刻和离子束刻蚀制作微透镜阵列的方法不但制作效率低,而且易产生较大的制作误差。提出了一种在硅基底聚合物薄膜上热压制作微透镜阵列的工艺方法,并利用自制的热压印设备进行了热压制作衍射微透镜阵列的试验,讨论了影响压印精度的温度和压力等工艺参数,对压印的衍射微透镜阵列进行了轮廓测试和部分光学性能测试。测试结果表明,压印制作微透镜阵列的复形误差小于10%,衍射效率高于90%,为高效率低成本制作微透镜阵列提供了一种新的方法。
- 范细秋张鸿海甘志银刘胜
- 关键词：热压印微透镜阵列衍射效率
- 用于药物释放系统的柔性微针研制被引量：5
- 2005年
- 提出了一种基于MEMS技术在柔性基底上制造微针的工艺技术,这是一种高效、安全和无痛的全新给药方式――微针阵列。该微针阵列能够适用于平面或非平面物体表面,对大分子药剂、蛋白质或者疫苗合成药剂也能够使用。
- 马斌徐永清甘志银张鸿海刘胜
- 关键词：微电子机械系统药物释放系统
- 宽范围高对准精度纳米压印样机的研制被引量：4
- 2005年
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100nm以下图案较好的下一代方法.介绍了自行研制的具有高定位和对准精度的纳米压印样机.利用该样机压印出的纳米级光栅、微凸点阵列、微透镜阵列等纳米结构和微器件的图形质量均匀性良好.该工艺为实现低成本、大批量复制纳米结构创造了条件,在半导体集成电路、微光学、生物和化学分析等微纳结构和器件的制作中有着广泛的应用前景.
- 范细秋张鸿海胡晓峰贾可刘胜
- 关键词：纳米压印光刻
- 宽范围高对准精度纳米压印样机的研制
- 传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案。与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100n...
- 范细秋张鸿海胡晓峰贾可刘胜
- 关键词：纳米压印光刻
- 文献传递
- 基于“荷花效应”的MEMS功能表面仿生技术被引量：7
- 2005年
- 微机电系统(MEMS)正在成为新崛起的大规模产业和各国政府竞争的至高点,但随着其特征尺度的日趋减小,表面效应显著增强,由此引起的摩擦磨损、表面粘附等问题成为制约MEMS发展的瓶颈。论证了“荷花效应”应用于MEMS领域仿粘减摩的机理,探讨了类荷叶仿生功能表面的制作方法,并给出了初步试验结果。
- 范细秋张鸿海贾可刘胜
