国家高技术研究发展计划(2002AA404090)
- 作品数：10 被引量：36H指数：3
- 相关作者：金翠云栗大超靳世久郭彤胡晓东更多>>
- 相关机构：天津大学北京大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用被引量：1
- 2004年
- 为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中。基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm。
- 金翠云栗大超靳世久冯亚林李一博郝一龙
- 关键词：特征提取小波变换模糊图像图像增强图像降噪
- 振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
- 探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)图像的影响。针对 DI 扫描探针显微镜 MultiMode SPM,以 Tektronix 任意波形发生器 AWG2021驱动 PC 扬声器作为激振源,以 SIOS 微型激光干涉测...
- 陈津平胡晓东陈峰郭彤胡小唐
- 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型
- 文献传递
- 基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术被引量：7
- 2005年
- 为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.
- 金翠云靳世久栗大超冯亚林郝一龙
- 关键词：微机电系统模糊图像光学检测亚像素
- 基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术被引量：3
- 2004年
- 随着微电子机械系统 (MEMS)研究的深入和产业化的需求 ,检测技术在其中的重要性越来越大 .基于机器微视觉的MEMS动态测试系统 ,利用模糊图像合成技术对MEMS的平面微运动特性参数进行提取和分析 .利用图像处理方法对MEMS谐振器做扫频和扫压测量 ,获得了MEMS器件的平面微运动特性 ,并对测量结果进行了分析和讨论 .由实验结果可以看出 ,这种方法有较高的测量精度 ,测量重复性误差为 10 0nm .
- 金翠云靳世久栗大超冯亚林李一博郝一龙
- 关键词：微电子机械系统谐振器
- MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现被引量：3
- 2003年
- 在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器件的清晰图像。从而为后续 MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备。
- 金翠云李一博靳世久王立坤
- 关键词：MEMS频闪
- 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术
- 2003年
- 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上 ,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率 f及品质因数Q等重要参数进行了测试 ,并给出了实验结果。
- 金翠云栗大超冯亚林靳世久曾周末郝一龙张大成
- 关键词：微电子机械系统模糊图像谐振器谐振频率
- MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现
- 在MEMS动态测试过程中,由于MEMS器件的运动频率都比较高,如何获得高速运动的MEMS器件的清晰图像,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的MEMS动态测试系统,设计了一套频闪驱动电路,用于采集高速运...
- 金翠云李一博靳世久王立坤
- 关键词：MEMS频闪
- 文献传递
- 基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量被引量：3
- 2004年
- 为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40nm。
- 金翠云栗大超靳世久王立坤李一博
- 关键词：自动控制技术动态特性块匹配
- 外界振动对SPM测量结果的影响被引量：3
- 2003年
- 探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)扫描图像的影响.针对DI扫描探针显微镜MultiModeTMSPM,以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统,研究了0～7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响.实验表明,针尖 样品副所受激振影响不同于SPM机体;0～1kHz频带内的激振影响显著,再高频段则影响甚微;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果;针尖 样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论.
- 胡小唐陈津平胡晓东郭彤陈峰
- 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型
- 振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
- 2003年
- 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖
- 陈津平胡晓东陈峰郭彤胡小唐
- 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型固有频率
