江苏省自然科学基金(BK2009286)
- 作品数：3 被引量：10H指数：2
- 相关作者：李普方玉明胡如夫更多>>
- 相关机构：东南大学南京邮电大学宁波工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 串联电容的静电驱动微执行器的动态Pull-in模型被引量：1
- 2011年
- 在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型已经被提出,并且还提出了一些拓宽微执行器稳定行程的方法。在动态条件下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型也已经被提出。但是,还没有人研究如何提高微执行器动态稳定行程。采用串联电容的方法来拓宽MEMS执行器的动态稳定行程,提出了串联电容后的动态pull-in模型。最后,采用数值解法模拟了串联电容后的动态pull-in现象,并同时考虑了阻尼的影响。
- 方玉明胡如夫李普
- 关键词：微电子机械系统平行平板微执行器
- 低压下微机械谐振器件挤压膜阻尼分子动力学仿真的一种高效算法被引量：2
- 2009年
- 正确预测挤压膜气体阻尼对于微机械谐振器件的设计是至关重要的。目前,当气压不太低时,已经有比较完善的连续介质模型能描述挤压膜气体阻尼。当气压很低时,气体连续介质模型不再适用,只能采用分子动力学方法。但是,当前关于自由分子区域中的微谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学研究非常少,为了避免计算量过大,还未有三维的挤压膜阻尼分子动力学模型。提出一种高计算效率的三维分子动力学算法。该方法以气体分子速度分布函数生成每一分子的初始速度,通过分别单独计算每一气体分子在一个振动周期内与器件碰撞获得的动能增量,得到一个振动周期内气体分子总体动能增量,从而计算器件挤压膜阻尼。与已有的实验结果对比表明,该算法具有良好的精度,而且计算量是可以接受的。
- 高流李普方玉明
- 关键词：分子动力学品质因数
- 考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型被引量：7
- 2011年
- 在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,对于漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器,通常只能采用有限元法数值求解。但是,有限元法繁琐、费时而且不直观。平行平板电容器的漏电容解析模型通常有两种:一种简单的;一种详细的。基于这两种漏电容解析模型,分别导出了漏电场不能忽略的平行平板式微执行器的Pull-in失稳方程,并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对比。结果表明,基于详细漏电容模型的结果精度良好,而且相对误差不随着极板间距的增大而增大。基于简单漏电容模型的结果精度太低,尤其在极板间距较大时。
- 方玉明李普
- 关键词：MEMSPULL-IN微执行器
