-
李俊杰
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李俊峰
- 作品数:521被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
- 王文武
- 作品数:412被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
- 杨涛
- 作品数:238被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
- 高建峰
- 作品数:118被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 牺牲层 衬底
- 李永亮
- 作品数:222被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区