-
付学成
-
-
- 所属机构:上海交通大学
- 所在地区:上海市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王英
- 作品数：131被引量：214H指数：7
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：金纳米粒子 电子束蒸发 金膜 坩埚 高温退火
- 程秀兰
- 作品数：112被引量：170H指数：6
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：刻蚀 形状记忆效应 形状记忆合金 微驱动器 亚波长光栅
- 刘民
- 作品数：20被引量：14H指数：2
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：刻蚀 金膜 玻璃结构 亚波长光栅 干法刻蚀
- 刘民
- 作品数：12被引量：25H指数：3
- 供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
- 研究主题：电感耦合等离子体 ICP刻蚀 多孔结构 热导率 硅
- 王凤丹
- 作品数：6被引量：15H指数：2
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：电子束蒸发 金膜 钨 坩埚 叶片
