-
刘宇
-

-

- 所属机构:北京航天控制仪器研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:中国人民解放军总装备部预研基金
相关作者
- 刘福民

- 作品数:106被引量:4H指数:1
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所
- 研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
- 梁德春

- 作品数:63被引量:28H指数:3
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所
- 研究主题:键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
- 刘国文

- 作品数:64被引量:2H指数:1
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所
- 研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
- 徐宇新

- 作品数:91被引量:41H指数:4
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所
- 研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
- 邢朝洋

- 作品数:82被引量:116H指数:7
- 供职机构:北京航天控制仪器研究所
- 研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基