-
吴徽
-
-
- 所属机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:“九五”国家科技攻关计划
相关作者
- 刘理天
- 作品数：623被引量：890H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
- 温明生
- 作品数：15被引量：13H指数：3
- 供职机构：吉首大学
- 研究主题：传感器 硅 片式 加速度传感器 硅加速度计
- 李英慧
- 作品数：3被引量：8H指数：2
- 供职机构：吉首大学
- 研究主题：硅加速度计 数据采集 硅 加速度传感器 片式
- 杨景铭
- 作品数：14被引量：32H指数：3
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：SOI 硅 激光再结晶 再结晶 微加速度传感器
