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陈伟明
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- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
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- 作品数:54被引量:73H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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- 作品数:469被引量:445H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
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- 作品数:7被引量:10H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 光刻分辨率 套刻精度 深紫外 图像处理
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- 作品数:228被引量:73H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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- 作品数:4被引量:10H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻分辨率 套刻精度 深紫外 光刻机 图像处理