庞慰
作品数: 262被引量:7H指数:2
  • 所属机构:天津大学
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

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一种双工器
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本发明涉及一种PMUT结构及其制造方法,该PMUT结构包括:晶体管单元,包括晶体管;和PMUT单元,包括PMUT及支撑层,PMUT包括第一电极层、第二电极层与压电层,其中:所述PMUT结构还包括用于PMUT的空腔;支撑层...
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本申请提供一种具有应力释放缝隙的MEMS扬声器,涉及MEMS扬声器领域,用于解决MEMS扬声器的输出声压级和功率灵敏度较低的技术问题,该MEMS扬声器包括基底和设置于基底上的振膜单元阵列,振膜单元阵列包括至少两个间隔设置...
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