-
杨雄
-

-

- 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 所在地区:吉林省 长春市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:应用光学国家重点实验室开放基金
相关作者
- 金春水

- 作品数:356被引量:271H指数:9
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
- 张立超

- 作品数:59被引量:145H指数:7
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:多层膜 光学镀膜 极紫外 膜厚 镀膜
- 姚志华

- 作品数:6被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:多层膜 磁控溅射 X射线 参数测量 衍射仪
- 曹健林

- 作品数:49被引量:186H指数:8
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
- 研究主题:软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
- 金卫华

- 作品数:2被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:参数测量 衍射仪 反射系数 多层膜 膜厚