-
徐勤志
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:文化科学
相关作者
- 陈岚
- 作品数:876被引量:151H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
- 曹鹤
- 作品数:53被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:CMP 研磨 冗余 金属 化学机械研磨
- 刘建云
- 作品数:29被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:研磨液 研磨 CMP 平坦性 表面形貌
- 方晶晶
- 作品数:21被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
- 杨飞
- 作品数:25被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:版图 冗余 集成电路版图 互连线 金属