徐勤志
作品数: 75被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:文化科学

相关作者

陈岚
作品数:876被引量:151H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
曹鹤
作品数:53被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 冗余 金属 化学机械研磨
刘建云
作品数:29被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨液 研磨 CMP 平坦性 表面形貌
方晶晶
作品数:21被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
杨飞
作品数:25被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 冗余 集成电路版图 互连线 金属