-
张群芳
-
-
- 所属机构:中国科学院研究生院
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电气工程
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 刘丰珍
- 作品数：47被引量：106H指数：6
- 供职机构：中国科学院大学
- 研究主题：热丝化学气相沉积 微晶硅薄膜 硅薄膜 硅 多晶硅薄膜
- 朱美芳
- 作品数：39被引量：104H指数：6
- 供职机构：中国科学院
- 研究主题：微晶硅薄膜 热丝化学气相沉积 硅薄膜 硅 表面形貌
- 刘金龙
- 作品数：17被引量：73H指数：5
- 供职机构：中国科学院研究生院
- 研究主题：微晶硅薄膜 热丝化学气相沉积 多晶硅薄膜 表面形貌 PECVD
- 周玉琴
- 作品数：18被引量：55H指数：4
- 供职机构：中国科学院研究生院
- 研究主题：热丝化学气相沉积 硅 微晶硅薄膜 织构 表面形貌
- 谷锦华
- 作品数：62被引量：118H指数：6
- 供职机构：郑州大学
- 研究主题：微晶硅薄膜 晶化率 表面粗糙度 热丝化学气相沉积 ITO薄膜
