张维佳
作品数: 65被引量:150H指数:8
  • 所属机构:北京航空航天大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

王天民
作品数:351被引量:1,196H指数:17
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刘嘉
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孙月峰
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马强
作品数:9被引量:12H指数:1
供职机构:北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
研究主题:纳米硅薄膜 衬底温度 掺硼 AZO RF-PECVD