刘杨
作品数: 247被引量:268H指数:9
  • 所属机构:哈尔滨工业大学
  • 所在地区:黑龙江省 哈尔滨市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

陈兴林
作品数:339被引量:837H指数:15
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
陈震宇
作品数:50被引量:1H指数:1
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
崔宁
作品数:47被引量:10H指数:2
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:绝对式 译码电路 光电测量 光电码盘 码盘
王伟峰
作品数:35被引量:27H指数:3
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:质心 光刻机 物理仿真 调平 三轴气浮台
董岳
作品数:39被引量:0H指数:0
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:被控对象 超精密 长焦 光顺 光刻机