-
邹世昌
-
-
- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 林成鲁
- 作品数：249被引量：547H指数：13
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
- 柳襄怀
- 作品数：140被引量：567H指数：12
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
- 沈鸿烈
- 作品数：255被引量：325H指数：8
- 供职机构：南京航空航天大学
- 研究主题：磁控溅射 太阳电池 多晶硅 巨磁电阻 多晶硅薄膜
- 杨根庆
- 作品数：150被引量：532H指数：12
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题：离子束 离子注入 小卫星 单粒子瞬态脉冲 硅
- 王曦
- 作品数：532被引量：250H指数：9
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
