齐国生
作品数: 97被引量:210H指数:8
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

徐端颐
作品数:234被引量:462H指数:12
供职机构:清华大学
研究主题:光存储 光学头 光致变色 母盘 光致
蒋培军
作品数:39被引量:82H指数:5
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:母盘刻录 光刻系统 阵列式 集成电路 电路图形
钱坤
作品数:44被引量:14H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:母盘刻录 光刻系统 阵列式 集成电路 电路图形
范晓冬
作品数:27被引量:1H指数:1
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:光刻系统 集成电路 电路图形 阵列式 母盘刻录
沈全洪
作品数:25被引量:35H指数:4
供职机构:清华大学
研究主题:光存储 蓝光 母盘刻录 孔径 SUPER-RENS