李志刚
作品数: 85被引量:34H指数:4
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

陈大鹏
作品数:667被引量:431H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
陈岚
作品数:886被引量:156H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
叶甜春
作品数:824被引量:650H指数:10
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
刘明
作品数:1,354被引量:401H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
阮文彪
作品数:27被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计