陈铭勇
作品数： 55被引量：46H指数：4
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

胡松
作品数：469被引量：445H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
李艳丽
作品数：38被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
严伟
作品数：147被引量：124H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
赵立新
作品数：228被引量：73H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
王建
作品数：62被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
作品列表