搜索到 篇“ ALD “的相关文章

相关作者

冯昊
作品数：112被引量：29H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 ALD 硼粉 包覆
龚婷
作品数：104被引量：26H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 硼粉 包覆 ALD
吕燚
作品数：147被引量：252H指数：9
供职机构：电子科技大学中山学院
研究主题：塔顶放大器 ALD 教学改革 退化数据 浪涌电流
秦利军
作品数：102被引量：22H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 硼粉 包覆 硼
夏洋
作品数：513被引量：68H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺