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非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备
本发明公开一种非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备，其包括承载平台、平移装置及激光晶化装置；承载平台用于呈水平承载非晶硅薄膜；平移装置用于驱动承载平台沿X轴和Y轴移动；激光晶化装置用于对非晶硅薄膜进行加热晶化，激光晶化装置支撑架...
范继良
非晶硅薄膜晶化微观组织调控发展现状
2024年
非晶硅薄膜晶化微观组织调控是实现微电子器件性能提升的关键。比较分析了辅助外场、界面调控、掺杂调控和工艺参数等非晶硅薄膜晶化微观组织调控技术方法,重点阐述了辅助外场的大小、方向以及作用时间等对晶体硅生长方向和速率的影响。此外,详细分析了界面层成分、厚度、结构等引起的晶化硅薄膜微观组织结构差异以及掺杂浓度、衬底类型等对非晶硅薄膜晶化微观组织的影响。结果有助于深入理解非晶硅薄膜晶化机理,进而有益于优化晶化硅薄膜制备工艺和器件性能提升。
侯君祎马晓波王宁杨塔
关键词：非晶硅薄膜晶化
非晶硅薄膜晶体管液晶显示器用基板玻璃
本文件规定了非晶硅薄膜晶体管液晶显示器用基板玻璃的要求，试验方法，检验规则，包装、标志、运输和贮存。<br />本文件适用于非晶硅薄膜晶体管液晶显示器用基板玻璃（以下简称&ldquo;基板玻璃&rdquo;）的设计、生产...
仵小曦曹志强金良茂李淼田英良李俊杰官敏李青薛新建赵金宝刘正茂沈玉国张晓东徐莉华赵志永国丽段美江胡恒广高羽李娜孙龙文樊波
柔性透明非晶硅薄膜太阳电池及组件的制备方法
本发明公开了一种柔性透明薄膜太阳电池及组件的制备方法。柔性透明薄膜太阳电池包含一透明衬底；一第一透明电极，位于透明衬底上；一薄膜太阳电池，位于第一透明电极上；以及一第二透明电极，位于薄膜太阳电池上，柔性透明薄膜太阳电池的...
朱锋
一种多层非晶硅薄膜的制备方法及太阳能电池
本发明公开了一种多层非晶硅薄膜的制备方法及太阳能电池，该制备方法包括：在低射频功率和低加热温度、高的射频功率和加热温度、更高射频频率的条件下，利用PECVD工艺依次在硅片表面沉积三层非晶硅薄膜。本发明多层非晶硅薄膜的制备...
许烁烁彭宜昌杨彬徐伟李涛吴易龙
异质结电池P型非晶硅薄膜制备方法、薄膜及应用
本发明提供了异质结电池P型非晶硅薄膜制备方法、薄膜及应用，涉及太阳能电池制备技术领域，包括：将硅片置于载板上进入镀膜腔内，其中，所述镀膜腔沿入口至出口形成通道；设置镀膜腔的控制参数，并使得布置在镀膜腔一端的气泵工作，以在...
上官泉元王迅
制备隧穿氧化层和非晶硅薄膜的方法及TOPCon电池
本申请涉及太阳电池领域，具体而言，涉及一种制备隧穿氧化层和非晶硅薄膜的方法及TOPCon电池。制备隧穿氧化层和非晶硅薄膜的方法，包括：使用PECVD设备，在沉积温度为440℃～460℃下依次沉积隧穿氧化层、本征非晶硅薄膜...
邓明璋陈浩吴伟梁孟夏杰邢国强
一种通过磷掺杂调控非晶硅薄膜折射率及电导率的方法
本发明公开了一种通过磷掺杂调控非晶硅薄膜折射率及电导率的方法，属于及光伏电池关键原件生产技术领域，具体为，步骤1.提供一基底，进行表面处理和清洗；步骤2.在特定温度和功率条件下，进行磷掺杂非晶硅薄膜的沉积；步骤3.通过精...
徐丹张剑
一种非晶硅薄膜和钙钛矿叠层的新型太阳能电池及其制备方法
本发明属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种非晶硅薄膜和钙钛矿叠层的新型太阳能电池及其制备方法。本发明提供的太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：在玻璃基片上形成第一透明电极层，然后依次在第一透明电极层上形成P型非晶硅层...
佘剑平戴国清佘金荣
氢化非晶硅薄膜制备方法
本发明公开了一种氢化非晶硅薄膜制备方法，包括：S1将单晶硅片清洗并制绒；S2在硅片表面预沉积氢等离子；S3在硅片表面进一步沉积SiH<Sub>x</Sub>等离子体基团得到氢化非晶硅薄膜，其中，x=1或2或3；S4对氢化...
周耐根罗耀榕周浪黄海宾
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相关作者

陈光华
作品数：259被引量：447H指数：11
供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院
研究主题：金刚石薄膜 立方氮化硼 立方氮化硼薄膜 CVD 金刚石
卢景霄
作品数：181被引量：449H指数：12
供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
研究主题：微晶硅薄膜 晶化率 多晶硅薄膜 微晶硅 非晶硅薄膜
史伟民
作品数：155被引量：227H指数：8
供职机构：上海大学材料科学与工程学院
研究主题：多晶 非晶硅薄膜 金刚石薄膜 太阳能电池 物理气相沉积
赵颖
作品数：804被引量：1,035H指数：14
供职机构：南开大学
研究主题：太阳电池 薄膜太阳电池 钙钛矿 微晶硅 硅基薄膜太阳电池
胡跃辉
作品数：80被引量：119H指数：6
供职机构：景德镇陶瓷大学机械电子工程学院
研究主题：ZNO薄膜 氢化非晶硅 氢化非晶硅薄膜 溶胶-凝胶法 氢含量