搜索到 篇“ 静电马达 “的相关文章

相关作者

刘理天
作品数：623被引量：890H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
王效东
作品数：13被引量：37H指数：4
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
李志坚
作品数：244被引量：485H指数：10
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
解健芳
作品数：16被引量：23H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
谭智敏
作品数：42被引量：90H指数：5
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统