搜索到 篇“ 键合工艺 “的相关文章

相关作者

黄庆安
作品数：917被引量：854H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
秦明
作品数：436被引量：403H指数：11
供职机构：东南大学
研究主题：风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
张苗
作品数：303被引量：36H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
朱健
作品数：219被引量：232H指数：9
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：MEMS MEMS开关 微机电系统 硅基 微机械
王跃林
作品数：719被引量：795H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片