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一种基于非平行薄膜波导的光开关
本实用新型涉及光开关技术领域，尤其涉及一种基于非平行薄膜波导的光开关，该光开关包括：分光组件；波导传输组件，所述波导传输组件包括对应设置的两个薄膜波导，两个所述薄膜波导对应的侧面具有设定角度，所述波导传输组件设置有一个输...
胡毅李佳欣许京军
一种集成光栅和铌酸锂薄膜波导的方法
本申请提供一种集成光栅和铌酸锂薄膜波导的方法，包括如下步骤:在硅基的铌酸锂薄膜晶圆A上光刻和刻蚀光栅；在具有光栅的铌酸锂薄膜层上沉积二氧化硅介质膜并进行化学机械抛光以使表面平坦化并降低表面粗糙度；此晶圆A和已经离子注入的...
张岚潘振辉许明
一种集成光栅和铌酸锂薄膜波导的方法
本申请提供一种集成光栅和铌酸锂薄膜波导的方法，包括如下步骤:在硅基的铌酸锂薄膜晶圆A上光刻和刻蚀光栅；在具有光栅的铌酸锂薄膜层上沉积二氧化硅介质膜并进行化学机械抛光以使表面平坦化并降低表面粗糙度；此晶圆A和已经离子注入的...
张岚潘振辉许明
一种晶体薄膜波导三维电场信号传感器及其制备方法
一种晶体薄膜波导三维电场信号传感器及其制备方法涉及光传感技术领域，该传感器自下而上依次包括：晶体基底、第二台阶、第一台阶，以及设置在晶体基底上，位于第二台阶两侧的金属正负电极；第二台阶和第一台阶为一体化结构，材料为电光效...
孙德贵罗梦希金光勇
一种基于非平行薄膜波导的光开关及其控制方法
本发明涉及光开关技术领域，尤其涉及一种基于非平行薄膜波导的光开关及其控制方法，该光开关包括：分光组件；波导传输组件，所述波导传输组件包括对应设置的两个薄膜波导，两个所述薄膜波导对应的侧面具有设定角度，所述波导传输组件设置...
胡毅李佳欣许京军
相位-偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器
相位‑偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器涉及光通信技术领域，解决了当前电光调制器所面临的光调制输出信号宽度与带宽之间矛盾的问题。本发明MZI型强度电光调制器，这种调制器的波导和电极是通过两次刻蚀到不同的平面上，...
孙德贵孙娜
一种基于铌酸锂薄膜波导的片上偏振无关相位调制器
本发明涉及一种基于铌酸锂薄膜波导的片上偏振无关相位调制器，属于集成光子器件、光学微纳加工和量子通讯领域。为了解决量子密钥成码速率受相位调制器的双向调制速率以及光纤熔接长度导致的延时时间的限制。本发明提出在铌酸锂薄膜材料上...
杨登才李子琰王智勇杨锋
基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器
本发明提供了一种基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器，涉及光电集成器件技术领域，包括：光子芯片及光纤(8)；光子芯片从下至上依次包括衬底硅(1)、埋氧层(2)、硅反射层(3)、氧化硅隔离层(4)、锆钛酸铅薄膜层(...
王道发李明 谢毓俊王鹏
基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器
本发明提供了一种基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器，涉及光电集成器件技术领域，包括：光子芯片及光纤(8)；光子芯片从下至上依次包括衬底硅(1)、埋氧层(2)、硅反射层(3)、氧化硅隔离层(4)、锆钛酸铅薄膜层(...
王道发李明谢毓俊王鹏
一种基于铌酸锂薄膜波导的高耦合效率分段均匀光栅耦合器
本发明涉及集成光学领域和半导体领域，具体是一种基于铌酸锂薄膜平台的高耦合效率分段均匀光栅耦合器。该光栅耦合器包括：绝缘铌酸锂薄膜上的光子芯片以及设置于其上方的光纤。绝缘铌酸锂薄膜上的光子芯片自上而下依次包括：分段均匀波导...
杨登才宋紫禁王云新向美华李颖李德阳
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孙德贵
作品数：45被引量：57H指数：4
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陈抱雪
作品数：153被引量：278H指数：9
供职机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院
研究主题：光波导技术 波导 光纤 集成光学 AS
杨登才
作品数：80被引量：97H指数：5
供职机构：北京工业大学
研究主题：微波光子 调制器 铌酸锂 微波光子学 波导
浜中广见
作品数：18被引量：21H指数：4
供职机构：日本法政大学
研究主题：AS 光波导技术 非晶态 薄膜波导 波导
杜丽萍
作品数：5被引量：6H指数：2
供职机构：上海理工大学
研究主题：薄膜波导 波导 硫化砷 响应速度 微量锡