搜索到37篇“ 粉末溅射“的相关文章
- 粉末溅射金属氧化物薄膜气敏元件
- 本文指出了薄膜元件能否实用化的关键在气敏层的稳定性，并提出了粉末溅射和高能溅射是气敏层稳定性的保证.说明了能实用化的薄膜元件是否能生产还要有较高的成品率,这就要求对晶体管光刻工艺进行改造和发展.同时给出了SnO2/16％...
- 张礼赵志桓曲建飞王传超裘南畹
- 关键词：气敏元件稳定性分析
- 文献传递
- 粉末溅射制备N-In共掺p型ZnO薄膜
- 2009年
- 在石英玻璃衬底上以ZnO∶In2O3粉末为靶材,采用射频磁控溅射法制备出具有良好c轴择优取向的ZnO∶In薄膜,继而对样品进行二次N离子注入掺杂,成功实现N-In共掺p型ZnO薄膜。借助XRD、Hall测试、XPS和透射谱测试手段研究分析了共掺ZnO薄膜的晶体结构、电学和光学性质。结果表明制备的薄膜具有较高的结晶质量和较好的电学性能,其空穴浓度、迁移率和电阻率分别达到4.04×1018cm-3、1.35cm2V-1s-1和1.15Ωcm。X光电子能谱(XPS)分析显示在p型ZnO薄膜里存在N-In键和N-Zn键,表明In掺杂可以促进N在ZnO薄膜的固溶,有利于N元素在ZnO薄膜内形成受主能级。另外,制备的ZnO薄膜在可见光范围内有很高的透射率,最高可达90%。其常温下的禁带宽度为3.2eV,相对本征ZnO的禁带宽度略有减小。
- 南貌阮海波秦国平孔春阳
- 关键词：P型ZNO透射谱
- 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件 Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜
- 2008年
- 利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.
- 田芳郭晓丽张颖欣王倩裘南畹
- 关键词：粉末溅射
- 粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件
- 2007年
- 针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%CeO2薄膜,利用衬底Al2O3与ZnO晶体均为六方结构的特点,选择适当溅射参数研制出薄膜气敏元件,同时通过悬挂芯片双点焊工艺,使元件更加小型化.长期检测结果表明,此类元件气敏特性和稳定性良好,适合进一步推广应用.
- 周磊邢建平周晨洪德斌裘南畹
- 关键词：粉末溅射
- 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件
- 本文研究 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件，介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
- 刘晓健曲鲁李东华卫东裘南畹
- 关键词：粉末溅射薄膜型芯片结构传感器
- 文献传递
- 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件性能测试
- 给出了SnO2/10％CeO2(0.4mm×0.6mm×0.4mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。
- 洪德斌陈慧凯孙玉珍于宗智马捷
- 关键词：粉末溅射传感器
- 文献传递
- 粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件被引量：1
- 2006年
- 介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
- 刘晓健曲鲁李东华卫东裘南畹
- 关键词：粉末溅射
- 粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件性能测试
- 2006年
- 给出了SnO2／10％CeO2(0．4 mm×0．6 mm×0．4 mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。
- 洪德斌陈慧凯孙玉珍于宗智马捷
- 采用粉末溅射的薄膜型气敏元件与测试特性
- 2004年
- 利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间τs<10 s,恢复时间τc<15 s.并对影响灵敏度测试的条件,例如测试电压、湿度影响、反应温变等进行了分析.
- 邢建平蔡成森滕丽丽袁庆华裘南畹
- 关键词：电子技术粉末溅射气敏元件
- 采用粉末溅射的SnO_2/CeO_2薄膜气敏材料及元件被引量：3
- 2004年
- 为改善气敏元件的性能,提高稳定性,采用粉末反溅研制了SnO2/CeO2乙醇敏感材料,结果表明:灵敏度在CeO2掺杂范围4%-32%、膜厚100-180nm时较佳,特征时间τ与膜厚l遵循τ∝l2规律,研制出乙醇灵敏度20-80、特征时间<15s的微型平面旁热式SnO2气敏元件;元件灵敏度测试存在一个4.5-10.5V相对稳定的测试电压区间,且在湿度影响下显著降低。
- 邢建平蔡成森李娟孟令国李秀宇高红
- 关键词：气敏元件
相关作者
- 刘文利
- 作品数：39被引量：66H指数：5
- 供职机构：山东大学
- 研究主题：金属氧化物 粉末溅射 气敏薄膜 SNO 气敏器件
- 裘南畹
- 作品数：41被引量：45H指数：4
- 供职机构：山东大学物理学院
- 研究主题：气敏薄膜 金属氧化物 粉末溅射 半导体 气敏元件
- 邢建平
- 作品数：260被引量：104H指数：5
- 供职机构：山东大学
- 研究主题：北斗 出租车 气敏元件 公交车 GNSS
- 蔡成森
- 作品数：11被引量：13H指数：3
- 供职机构：山东大学
- 研究主题：气敏元件 粉末溅射 MATLAB 过冲 气敏
- 洪德斌
- 作品数：3被引量：0H指数：0
- 供职机构：山东大学信息科学与工程学院
- 研究主题：粉末溅射 传感器 CEO2 CEO SNO2
