搜索到 篇“ 硅尖 “的相关文章

相关作者

孙道恒
作品数：421被引量：457H指数：12
供职机构：厦门大学
研究主题：电纺 高压电源 纳米纤维 喷印 喷头
夏劲松
作品数：10被引量：9H指数：2
供职机构：大连理工大学
研究主题：干法刻蚀 硅尖 湿法腐蚀 各向异性腐蚀 压电
崔岩
作品数：125被引量：432H指数：11
供职机构：大连理工大学
研究主题：大气光学 PZT薄膜 天空 微力传感器 压电
石二磊
作品数：6被引量：22H指数：3
供职机构：大连理工大学
研究主题：硅尖 各向异性腐蚀 干法刻蚀 湿法腐蚀 微悬臂梁
王立鼎
作品数：537被引量：1,607H指数：22
供职机构：北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题：微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 MEMS 精密加工技术