搜索到 篇“ 硅压力传感器 “的相关文章

相关作者

庞世信
作品数：24被引量：13H指数：3
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：压力传感器 传感器 扩散硅 扩散硅压力传感器 硅
吴宪平
作品数：15被引量：27H指数：3
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题：压力传感器 硅 扩散硅压力传感器 传感器 各向异性腐蚀
刘理天
作品数：623被引量：890H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
王蕴辉
作品数：35被引量：38H指数：3
供职机构：中国电子产品可靠性与环境试验研究所
研究主题：加速度计 校准 随动 性能参数 转台
王善慈
作品数：17被引量：30H指数：3
供职机构：中国电子科技集团
研究主题：多晶硅 压力传感器 硅压力传感器 传感器 硅