搜索到 篇“ 电容耦合放电 “的相关文章

相关作者

黄海涛
作品数：90被引量：208H指数：9
供职机构：广州大学
研究主题：等离子体 热解 高频等离子体 泵腔 微泵
戴忠玲
作品数：17被引量：52H指数：3
供职机构：大连理工大学
研究主题：等离子体 鞘层 物理实验 刻蚀 物理基础
王友年
作品数：150被引量：173H指数：7
供职机构：大连理工大学
研究主题：等离子体 放电线圈 射频放电 鞘层 射频
刘亚宁
作品数：7被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：甲苯 催化剂 甲烷 低温等离子体 净化烟气
何湘
作品数：17被引量：53H指数：5
供职机构：河海大学理学院
研究主题：等离子体 仿真模拟 光谱法 隐身 光谱诊断