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电容式微传声器的性能模拟与优化设计被引量：7: 2003年; 针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理 ,建立了有限元分析模型和声电模型 ,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性 ,得出了结构优化的设计原则 ,即要想得到高灵敏度的微传声器器件 ,必须考虑采用尽可能小的空气隙厚度和声学孔尺寸以及具有较小内应力的声学振膜 .为采用MEMS技术制备出高性能的电容式微传声器提供了理论基础 .; 宁瑾刘忠立; 关键词：电容式微传声器性能模拟

多孔硅在电容式微传声器制备中的应用研究: 2003年; 多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料。探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能。提出可以采用氧化多孔硅材料作牺牲层制备微传声器的空气隙的工艺方法,有效地解决其他牺牲层材料与振膜应力不匹配以及释放时间过长的问题,使微传声器的制备成品率得到提高。同时提出运用多孔硅牺牲层工艺制备微传声器的背极板声学孔,可以获得厚度达10μm以上的单晶硅作背极板,背极板刚性好,不会随着外加声压振动,有效地提高了微传声器的性能。; 宁瑾刘忠立刘焕章葛永才; 关键词：多孔硅牺牲层电容式微传声器

用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器被引量：1: 2003年; 提出了一种新的硅基电容式微传声器的制备方法，即采用多孔硅牺牲层技术制备声学孔，采用聚酰亚胺膜作声学振膜，采用该方法制备出的电容式微传声器器件，开路灵敏度为107．8dB，在400～10kHz之间，频率响应较为平坦，可以实现语音通信。; 宁瑾刘焕章葛永才刘忠立; 关键词：多孔硅牺牲层聚酰亚胺

Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Oxidized Porous Silicon as Sacrificial Layer: 2003年; A new technique to fabricate silicon condenser microphone is presented.The technique is based on the use of oxidized porous silicon as sacrificial layer for the air gap and the heavy p+-doping silicon of approximately 15μm thickness for the stiff backplate.The measured sensitivity of the microphone fabricated with this technique is in the range from -45dB(5.6mV/Pa) to -55dB(1.78mV/Pa) under the frequency from 500Hz to 10kHz,and shows a gradual increase at higher frequency.The cut-off frequency is above 20kHz.; 宁瑾刘忠立刘焕章葛永才

电容式微传声器的制备研究新进展被引量：3: 2002年; 本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具体情况优化电极形状和尺寸。; 宁瑾刘忠立赵慧; 关键词：电容式微传声器

用多孔硅作牺牲层制备硅基电容式微传声器: 提出了一种新的硅基电容式微传声器的制备方法,即采用多孔硅牺牲层技术制备声学孔,采用聚酰亚胺膜作声学振膜.采用该方法制备出的电容式微传声器器件,开路灵敏度为-107.8dB,在400~10kHz之间,频率响应较为平坦,可以...; 宁瑾刘焕章葛永才刘忠立; 关键词：多孔硅牺牲层聚酰亚胺; 文献传递

基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制被引量：5: 2001年; 基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著的降低残余应力的不良影响，大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器，其制作工艺简单、重复性好，所用材料也能与ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明，在１０Ｖ的偏置电压下，这种微传声器在７ｋＨｚ以下具有平直的频响，开路灵敏度可达４０ｍv／Ｐａ，而其占用的芯片面积仅为１．５ ×ｌ．５ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内，形成完整的微声学系统。; 陈兢刘理天李志坚谭智敏; 关键词：微电子机械系统微传声器电容式高灵敏度

电容式微传声器的研制及性能测试: 该论文主要工作包括硅基电容式微传声器及其外围电路的研制以及器件与电路的性能测试分析.主要研究结果如下:通过建立有限元分析模型和声-电模型,对不同结构参数的电容式微传声器进行性能模拟,得出结构优化的设计原则,为制备出高性能...; 宁瑾; 关键词：MEMS 多孔硅牺牲层倍压电路

电容式微传声器模型及MEMS CAD技术的研究: 当前,微电子机械系统(MEMS)技术在传感器领域已得到广泛应用并取得了巨大成功.使用MEMS工艺制作的微传感器不仅体积小、成本低、机械特性好,并且能方便地与CMOS电路集成,形成复杂的微系统,微传声器就是近年来微传感器领...; 陈兢; 关键词：MEMS 有限元分析微传声器

硅基微传声器的研究进展被引量：1: 2002年; 基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。; 陈兢刘理天李志坚; 关键词：电容式微传声器驻极体传声器前置放大器频率响应微电子微机械

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