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徐端颐
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蒋培军
作品数:39被引量:82H指数:5
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齐国生
作品数:97被引量:210H指数:8
供职机构:清华大学
研究主题:光存储 光致变色 母盘刻录 集成电路 光刻系统
钱坤
作品数:44被引量:14H指数:2
供职机构:清华大学
研究主题:母盘刻录 光刻系统 阵列式 集成电路 电路图形
李庆祥
作品数:210被引量:1,362H指数:14
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储