搜索到 篇“ 晶圆清洗 “的相关文章

相关作者

路新春
作品数：367被引量：360H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
裴召辉
作品数：19被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
徐达
作品数：124被引量：44H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：基板 封装器件 芯片 金属 封装结构
郭同健
作品数：131被引量：46H指数：4
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：线束 组件 压线 屏蔽线 加工线
徐叔喜
作品数：43被引量：0H指数：0
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：图像 FLEXRAY 发送 挂接 寄存器