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- 微细加工技术
- 本书主要内容包括:微型机械与微细加工的基础知识;微细切削加工;半导体材料的微细加工技术;微细电加工等微细特种加工技术;高能束流微细特种加工技术等。
- 王振龙等编著
- 微细加工技术被引量:1
- 1994年
- Zdroj.,E
- 关键词:金属切削微细加工
- 微细加工技术
- 高等学校教材:本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。
- 蒋欣荣编著
- 微细加工技术
- 日本微细加工技术编辑委员会编
- 电真空器件隙缝腔零件微细加工技术工艺研究
- 2024年
- 针对G波段分布作用速调管中关键零件隙缝腔零件的高精度设计要求开展微细加工技术研究。基于现有加工经验及加工设备条件,通过创新性的工艺设计、结合大量工艺试验探索,突破了微小尺寸、超高精度零件的精密加工技术,满足了毫米波及太赫兹电真空器件中关键零部件的制造需求,提升了高频段电真空器件制造技术水平。
- 陈兵张德水于森
- 关键词:微细加工
- 微细加工技术
- 本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术,以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用,并以碳化硅为例,介绍了第三代半导体,从而使读者能够准确地理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理...
- 刘志东
- 基于电化学微细加工技术的柔性仿生传感元件研究
- 在基于微裂纹的柔性应变传感器中,传统的微裂纹制备方法和普通的微裂纹结构形态阻碍了其工作性能的有效提升,本文提出基于可调电阻和Two-tone正弦信号的电化学微细加工技术,并利用此技术制备以蜘蛛腿部狭缝器官为启发的具有特殊...
- 王鑫
- 关键词:微细加工可调电阻正弦信号微裂纹传感元件
- 激光微细加工技术在医疗器材领域的应用被引量:2
- 2023年
- 激光微细加工技术具有超快、超精密等特性,在医疗器材领域的应用中有着传统加工技术无可比拟的独特优势,尤其是对生物材料表面加工改性,提高材料生物相容性方面有着不可替代的作用。本文综述了近年来激光微加工技术在医疗器材制造加工领域的最新应用,着重介绍了血管支架和骨支架的结构与表面制造,生物材料表面改性与抗菌性处理等。最后对目前激光微加工技术存在的局限性做了讨论,对未来激光微加工技术在医疗器材领域的应用发展做了展望。
- 杜帅张成林孙文明马玉平姚燕生
- 关键词:激光微细加工血管支架骨支架抗菌性
- 超快激光微细加工技术的应用研究被引量:1
- 2021年
- 超快激光微细加工是目前重要的激光加工技术之一,能够利用激光向被加工材料输出能量,引起被加工材料的变化。文章对超快激光微细加工技术应用展开研究,分析了加工技术的原理,研究了加工的主要应用方法和发展趋势。通过相关研究,可以帮助技术人员合理使用相关技术,提升超快激光微细加工技术的应用效率。
- 刘辉涛
- 水辅助激光微细加工技术进展被引量:4
- 2020年
- 介绍了水辅助激光加工技术的研究现状,系统总结了水辅助激光加工技术的产生原因以及包含的主要技术内容.针对每种水辅助激光加工技术,详细介绍了国内外研究者在理论与实验方面的主要研究成果,并对不同水辅助激光加工技术之间的技术差异和适用范围进行了论述.水辅助激光微细加工技术在解决激光加工热损伤导致的精度损失、效率降低等方面具有明显的效果,各种形式的水辅助装置以及组合技术也为类似工程问题解决方案的拟定提供了参考价值.
- 郭兵刘文超赵清亮SATA HabibAMR Monier
- 关键词:激光加工技术
相关作者
- 李以贵

- 作品数:148被引量:248H指数:7
- 供职机构:上海应用技术学院理学院
- 研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
- 李勇

- 作品数:632被引量:842H指数:16
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:存储介质 电子设备 微细电火花加工 工具电极 电火花加工
- 张亚非

- 作品数:462被引量:336H指数:9
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:碳纳米管 石墨烯 量子点 气体传感器 单壁碳纳米管
- 蔡炳初

- 作品数:222被引量:643H指数:14
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
- 朱军

- 作品数:102被引量:199H指数:9
- 供职机构:上海交通大学
- 研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶