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一种微机械陀螺仪
本实用新型公开了陀螺仪技术领域的一种微机械陀螺仪，包括陀螺仪本体和防护盖，所述陀螺仪本体的顶部设有防护盖，所述防护盖的底部设有插块，所述插块和防护盖固定连接，所述插块的一侧嵌设有收纳槽，所述收纳槽的内部设有弹簧，所述弹簧...
郑义夏春
微机械陀螺仪及电子产品
本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运...
马昭占瞻杨珊阚枭严世涛彭宏韬李杨黎家健陈秋玉洪燕
一种低耦合三轴微机械陀螺仪
本发明涉及微机电系统传感器领域，具体涉及一种低耦合三轴微机械陀螺仪，包括：衬底、驱动结构和检测单元，具体的，衬底上设置有锚点结构，检测单元悬空架设在锚点结构上，其中，检测单元包括；四个敏感单元以及两个Z轴敏感单元，两个相...
谢建兵胡旺华
一种全解耦三轴微机械陀螺仪
本发明揭示了一种全解耦三轴微机械陀螺仪，其中驱动机构中各离散型驱动框架通过驱动耦合模组依次相连成环状，并在驱动机构外侧接设具有独立质量块的Z轴检测机构，在驱动机构内侧依托于各驱动框架分布设置相互对称的两个X轴检测机构和相...
王琳
压电式环形微机械陀螺仪及制备方法
本发明涉及一种压电式环形微机械陀螺仪及制备方法。所述陀螺仪包括：衬底，衬底上设置有结构层，结构层上间隔分布若干导电回路；导电回路为两个以上，沿结构层环向间隔布置；导电回路包括从下往上依次设置的底电极层、压电层及顶电极层；...
李青松肖定邦冯荣辉吴学忠吴锴石岩席翔张勇猛孙江坤
基于硅微机械陀螺仪的驱动方法及装置
本发明提供一种基于硅微机械陀螺仪的驱动方法及装置，涉及陀螺仪技术领域，所述方法包括：生成两路驱动信号；两路驱动信号为频率相等、电压幅值相等以及相位相差90°的无直流偏置的交流电压；频率为谐振频率的一半；将两路驱动信号分别...
付润娟廖兴才于正慧张旭东毛润雨温诗谦
一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪
本发明为一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪。陀螺为平面Z轴陀螺，包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块，质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连，关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结...
葛少雷姜波苏岩王振军周同
硅微机械陀螺正交耦合误差分离及结构误差辨识方法
本发明提出了一种硅微机械陀螺正交耦合误差分离及结构误差辨识方法，包括：建立包括驱动梁宽不等、驱动梳齿间隙不均、驱动检测梳齿间隙不均和检测梳齿间隙不均的硅微陀螺耦合误差的模型，通过分别调节驱动梳齿直流偏置电压、驱动检测梳齿...
裘安萍赵阳徐美嘉施芹夏国明黄锦阳
一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪
本发明为一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪。陀螺为平面Z轴陀螺，包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块，质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连，关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结...
葛少雷姜波苏岩王振军周同
一种微机械陀螺小角速度标度因数非线性的校准方法
本发明公开了一种微机械陀螺小角速度标度因数非线性的校准方法，该方法包括在力平衡模式下，对所述陀螺施加低频正弦角速度，自动获得微机械陀螺加力偏转角，根据偏转角，对驱动激励信号和检测力平衡信号进行坐标变换，使陀螺仪质量块的运...
郑旭东沈耀杰金仲和佟文元
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刘俊
作品数：1,530被引量：2,174H指数：17
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研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 传感器
张福学
作品数：239被引量：380H指数：10
供职机构：北京信息科技大学传感技术研究中心
研究主题：传感器 微机械 硅微机械陀螺 角速度 陀螺
石云波
作品数：481被引量：700H指数：13
供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题：加速度计 MEMS 加速度传感器 高过载 散斑
刘晓为
作品数：477被引量：509H指数：11
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：微机械陀螺 微型直接甲醇燃料电池 MEMS 膜电极 甲醇燃料电池
苑伟政
作品数：649被引量：793H指数：12
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点