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一种环形触点射频微机械开关及其制备方法
本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
一种微机械开关及天线
本发明涉及通信技术领域，并公开了一种微机械开关及天线。微机械开关包括：介质基板；设置在介质基板上的第一参考电极、第二参考电极和信号电极，第一参考电极包括沿其延伸方向断开设置的多个第一子参考电极；设置在信号电极、第一参考电...
王龙陶帅鹏王锋彭依丹
静电驱动的微机械开关及其制备方法
本发明提供了一种静电驱动的微机械开关及其制备方法，属于射频微机电器件领域，其中静电驱动的微机械开关包括：可动梁、上驱动电极、触点元件、金属支撑柱、下驱动电极、信号线和第一基底。其中，可动梁的下表面配置有上驱动电极和触点元...
王喆垚
一种环形触点射频微机械开关
本实用新型公开了一种环形触点射频微机械开关，包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构以及用于直流驱动的驱动结构；共面波导结构包括输入信号线、输出信号线、第一地线和第二地线，悬臂梁结构包括L型悬臂梁和...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
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一种环形触点射频微机械开关及其制备方法
本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶...
姜理利黄镇王冬蕊吴杰黄旼
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基于微机械开关结构的电化学传感器测试分析研究被引量：1
2021年
基于微机械开关结构的电化学传感器是当前微机械加工技术结合传统电化学传感器技术创立的新一代传感器技术,本文研究该交叉学科需求下的常见微机械开关传感器的性能测试。通过对常见的微机械开关加工技术进行分析,进而分析了Clark氧传感器、微电极阵列传感器、Back-Cell电化学传感器、微电化学流动池传感器的综合测试结果,发现:随着元件尺寸的缩小,其反应速度更快、样品量更少、灵敏度更高且人体植入监测也更容易操作。本文认为,在新的研究领域,以及更多交叉学科的支持下,实现对硅基板微加工技术的更深度挖掘。
郑宇方岚李苏苏朱震星
关键词：微机械开关电化学传感器集成电路
一种射频微机械开关及制作方法
本发明涉及电子器件领域，公开了一种射频微机械开关，包括：水平设置的基底，以及设置在基底上方的信号线触点和地线触点，还包括：设置在基底上方的信号线、驱动信号线在水平方向上运动的悬臂梁，信号线包括正对信号线触点设置的第一接触...
朱雁青兰晓东童贝李杨
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一种射频微机械开关及其制作方法
本发明公开了一种射频微机械开关，包括：基底、设置在基底上的导通部，以及悬置于基底上方的第一接触部和第二接触部；导通部包括固定在基底上的固定电极、第一延伸臂及第二延伸臂；第一延伸臂上设置有第一驱动电极，以及与第一接触部正对...
朱雁青兰晓东童贝李杨
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一种射频微机械开关及制作方法
本发明涉及电子器件领域，公开了一种射频微机械开关，包括：水平设置的基底，以及设置在基底上方的信号线触点和地线触点，还包括：设置在基底上方的信号线、驱动信号线在水平方向上运动的悬臂梁，信号线包括正对信号线触点设置的第一接触...
朱雁青兰晓东童贝李杨
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一种射频微机械开关及其制作方法
本发明公开了一种射频微机械开关，包括：基底、设置在基底上的导通部，以及悬置于基底上方的第一接触部和第二接触部；导通部包括固定在基底上的固定电极、第一延伸臂及第二延伸臂；第一延伸臂上设置有第一驱动电极，以及与第一接触部正对...
朱雁青兰晓东童贝李杨
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黄庆安
作品数：922被引量：857H指数：13
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作品数：202被引量：29H指数：3
供职机构：东南大学
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作品数：181被引量：11H指数：2
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研究主题：MEMS 共面波导 隔离度 端口 微机械开关
郑惟彬
作品数：32被引量：46H指数：3
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：微机械开关 砷化镓 射频微机械开关 共平面波导 MMIC