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硅微压力传感器测试及焊接一体化装配装置及测试方法
本发明提供了一种硅微压力传感器测试及焊接一体化装配装置及测试方法，该装置包括套筒、压盖、密封圈和多个可拆卸连接件，套筒的上下两端进行开口设计，沿套筒的周向间隔开设有多个镂空结构，压盖的一端具有一腔体，密封圈沿腔体的周向设...
丁凯 张菁华 卜英
一种高灵敏度微压力传感器芯片测试工装
本实用新型公开了一种高灵敏度微压力传感器芯片测试工装，包括芯片，芯片的顶部设置有用于向芯片按压的检测探针，检测探针的顶端用于移动检测探针位置的推动组件，检测探针的底部设置有用于固定检测探针位置的固定组件。本实用新型一种高...
金晶谭一成
微压力传感器
本申请公开了一种微压力传感器，涉及压力传感器的技术领域，本申请通过受到压力作用而产生形变的薄膜对照射至其上的光束产生偏折，超透镜基于接收到的偏折光束的偏折角度，对该偏折光束进行调制，以放大该偏折光束的偏折角度，探测器基于...
陈建发郝成龙谭凤泽朱健
易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法
本发明提出一种易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法，以满足应用于宽温区微压力测量的需求。本发明的结构非常容易调整，在确保差分敏感的基础上实现弱耦合谐振器的耦合刚度调整。本发明采用基于恒幅激励的方案，为进一步...
陈德勇秦佳新鲁毓岚谢波王军波
一种带防环境干扰微压力传感器
本实用新型公开了一种带防环境干扰微压力传感器，属于压力传感器技术领域，包括变送器以及可拆卸安装于变送器底端的微压力传感器，所述微压力传感器两端通过螺栓组对称安装有夹块，两个所述夹块其中一端分别安装有泄压阀，且另一端分别安...
许立明邓进宇代文凯
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宽范围微压力传感器
公开了一种微压力传感器，其包括在不同压力范围内操作的多个模块。模块包括至少两个模块层堆叠，每个模块层包括：模块主体，其具有限定隔室的壁，并且所限定的隔室划分为至少两个子隔室；用于流体进入或流出的端口，其设置在主体的第一壁...
S.A.马什
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一种柔性微压力传感器及制备工艺
本发明公开了一种柔性微压力传感器及制备工艺，柔性微压力传感器由多层印刷有印刷电路的柔性基板叠加组成，首先在作为底层的柔性基板上表面打印印刷电路和引线头；然后覆盖第二层柔性基板；在第二层柔性基板上面打印印刷电路和引线头，第...
李辉张云帆夏吉奡申胜男
微压力传感器
公开一种微压力传感器，其包括主体，所述主体具有通过膜提供的区室化腔室，膜固定在所述主体的相对壁之间，并且膜承载在膜的表面上布置的电极。
斯蒂芬.A.马什
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一种基于类脑计算的微压力传感器
本发明公开了一种基于类脑计算的微压力传感器，包括微压力传感器微压力感应结构、搭载脉冲神经网络的类脑计算芯片和通信模块，由微压力感应结构检测工作环境种的压力值，由类脑计算芯片读取微压力感应结构的原始数据，通过神经网络完成智...
李辉申胜男刘胜张云帆顾倍康
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一种基于类脑计算的微压力传感器
本发明公开了一种基于类脑计算的微压力传感器，包括微压力传感器微压力感应结构、搭载脉冲神经网络的类脑计算芯片和通信模块，由微压力感应结构检测工作环境种的压力值，由类脑计算芯片读取微压力感应结构的原始数据，通过神经网络完成智...
李辉申胜男刘胜张云帆顾倍康
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赵玉龙
作品数：597被引量：395H指数：11
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
蒋庄德
作品数：1,005被引量：1,045H指数：15
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
谭晓兰
作品数：50被引量：157H指数：7
供职机构：北方工业大学
研究主题：微压力传感器 稳健设计 磁头滑块 纳米纤维 压阻式压力传感器
李媛媛
作品数：150被引量：158H指数：7
供职机构：上海工程技术大学
研究主题：声表面波 声表面波传感器 称重 叉指换能器 把手
熊继军
作品数：779被引量：948H指数：12
供职机构：中北大学
研究主题：无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器