搜索到 篇“ 微加工技术 “的相关文章

相关作者

周再发
作品数：175被引量：81H指数：4
供职机构：东南大学
研究主题：残余应力 绝缘衬底 杨氏模量 多晶硅 元胞自动机
黄庆安
作品数：917被引量：854H指数：13
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
虞益挺
作品数：99被引量：169H指数：8
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
王涓
作品数：12被引量：95H指数：3
供职机构：东南大学
研究主题：各向异性 微加工技术 微机电系统 各向异性腐蚀 元胞自动机
朱全发
作品数：6被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学
研究主题：滤波器 微加工技术 微机械 可调谐 镜面