搜索到 篇“ 大高宽比 “的相关文章

相关作者

谢常青
作品数：506被引量：259H指数：8
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
朱效立
作品数：155被引量：124H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
刘明
作品数：1,361被引量：405H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
李海亮
作品数：83被引量：52H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
田扬超
作品数：148被引量：275H指数：9
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术