搜索到 篇“ 单片集成技术 “的相关文章

相关作者

张照云
作品数：79被引量：25H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
彭勃
作品数：55被引量：70H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
唐彬
作品数：107被引量：41H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
高扬
作品数：8被引量：3H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅片 单片集成技术 金属连线 金属电极 结构层
苏伟
作品数：82被引量：25H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层