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周卫
作品数：87被引量：40H指数：4
供职机构：清华大学
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刘朋
作品数：57被引量：5H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 半导体制造技术 激光加工
窦维治
作品数：59被引量：2H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：晶圆片 半导体制造设备 激光 激光加工 半导体制造技术
夏洋
作品数：500被引量：53H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
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