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基于严格耦合理论的亚长光栅合成孔径成像分析
2022年
合成孔径技术是一种能够有效实现超分辨成像的技术。目前的合成孔径成像技术大多以标量衍射理论为基础,但当成像目标的尺寸小于长时,标量衍射理论中的近似与假设不再成立。因此,本团队在高斯光束照明条件下,以更为严格耦合理论为基础,分析了亚长光栅的合成孔径成像技术。通过模拟仿真280 nm周期、140 nm线宽的一维矩形光栅的合成孔径成像,分析了光栅有界情况下,模式个数对光栅重构的影响以及恢复光栅结构所需的最少模式个数。接下来讨论了标量衍射理论相对于耦合理论可能产生的误差。分析了照明光以±90°入射的理想情况下对光栅进行合成孔径成像的最小分辨率,并认为其仅与长有关,可分辨的光栅周期最小为λ2,线宽分辨率为λ4。本文为合成孔径技术在亚长光栅中的应用提供了更严格理论基础。
王柯威肖康孙静王中阳
关键词:合成孔径成像亚波长光栅超分辨成像
基于严格耦合理论的硬X射线菲涅耳带片设计被引量:8
2021年
菲涅耳带片(FZP)能实现光源聚焦,是硬X射线显微成像最重要的组成元件之一。分辨率与衍射效率是FZP最重要的两个参数,但在实际设计与制备中,两者往往难以同时兼顾。因此,提出了一种基于严格耦合理论的硬X射线FZP设计方法。该方法在指定分辨率的基础上优化衍射效率,给出了硬X射线FZP组成材料、环带宽度、外径、厚度以及厚度控制精度等参数的优化值。同时考虑到材料色散的影响,给出了最优衍射效率随光源能量变化的分布情况,为显微成像中的光源选择提供了参考。
高雅增吴鹿杰卢维尔刘虹遥刘虹遥赵丽莉夏洋孔祥东赵丽莉
关键词:成像系统菲涅耳波带片分辨率衍射效率硬X射线
基于严格耦合理论的光栅结构参数测量方法
衍射光栅作为一种重要的光学元件,在诸多领域具有不可替代的重要作用,其结构参数的测量具有重要意义。随着光栅制造技术和应用领域的不断发展,现有的原子力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等光栅结构参数测量方...
蒋家成
关键词:光栅结构参数测量耦合波理论
基于严格耦合理论的散射场显微镜建模与分析
半导体和微机电等产业的迅速发展都对研发出能提高并打破常规衍射极限的光学显微技术以满足测量需求提出了迫切的要求。散射场显微测量技术是目前世界临界尺寸测量研究的热点,主要解决半导体加工、微机电等行业在线、非接触、快速尺寸测量...
尚海
关键词:显微镜
基于严格耦合理论的新型耦合光栅分析被引量:5
2014年
针对导全息平视器中一种新型的耦合光栅结构,基于严格耦合理论数值分析了其衍射特性,同时对光栅的工艺容差进行了分析,计算了膜厚、槽深、周期与入射长对耦合效率的影响.该光栅以导板中内嵌的闪耀光栅锯齿面作基底,镀高折射率的膜层后,覆盖锯齿状的金属膜层.计算结果表明:对于长532,nm的TE偏振光,空气中0°入射的一级衍射效率可大于90%;当空气中入射光的纵向角在[-8°,12°]、横向角在[-15°,15°]内变化时,一级衍射效率可大于82%且保持平稳.该光栅可在导全息平视器中,对大视场成像光束进行均匀、高效的耦合.
尤勐黄战华蔡怀宇
关键词:光栅衍射效率严格耦合波理论
基于严格耦合理论的周期性极化铌酸锂晶体的电光衍射性质分析被引量:1
2014年
采用严格耦合理论,数值计算了不同参量下周期性极化铌酸锂晶体的电光衍射性质.研究表明:周期性极化铌酸锂晶体的周期性畴反转结构在电场的作用下相当于折射率衍射光栅,衍射性质和晶体的几何结构、周期、施加电场和入射角密切相关.以布喇格角度入射并满足布喇格衍射条件时,0级衍射光能量随施加电场的增大周期性地转化到-1级的衍射光中,最大转化效率达100%,增大周期性极化铌酸锂晶体的长度可以有效地降低转换电压值;以布喇格角度入射但光传输不满足布喇格衍射条件时,0级衍射光和-1级衍射光不能进行100%的能量转换,同时调制的周期性受到破坏.以布喇格角的倍数角入射时,0级光能量可以转化到相应的其他较高衍射级次,其中奇倍数衍射级的最大转换效率可达100%.研究结果为基于PPLN的集成电光器件设计提供有价值的参考.
万玲玉卢智勇廖洋超亮芳胡龙敢
关键词:周期性极化铌酸锂电光效应耦合波理论
嵌入式光栅多层结构锥形衍射的严格耦合理论研究被引量:5
2014年
基于严格耦合分析理论,将嵌入式光栅多层结构平面衍射的理论模型扩展至锥形衍射的情况,可以模拟具有任意长、偏振态、方位角和入射角的平面入射该多层结构后形成的衍射。在此基础上,研究了微机械声光传感器锥形衍射中+1级光衍射效率的收敛性。仿真表明:TM(Transverse Magnetic)偏振光入射且光栅周期为4μm时,当谐数M(2n+1)分别为67、69、71时,+1级光衍射效率分别为28.86%、28.84%、28.86%,收敛性较好。另外,优化了微机械声光传感器的位移灵敏度,当入射角为22°、方位角为10°、光栅周期为1μm时,与周期为4μm的+1级衍射光相比,TE、TM偏振光入射时0、+1级衍射光的位移灵敏度均提高一倍,可以准确地监测该传感器中声压或驱动电压引起的金属膜的位移。
杨亮李艳秋马旭盛乃援
关键词:亚波长光栅多层结构
基于严格耦合理论的蝴蝶鳞翅分级结构光学特性研究被引量:2
2011年
Morpho蝴蝶的颜色效应是由蝴蝶鳞翅上特殊的分级微纳结构与光发生干涉、衍射和散射等作用引起的,是一种典型的结构色。以严格耦合理论(RCWA)为基础,借助光学衍射结构综合设计工具,建立了仿蝴蝶鳞翅分级结构的二维模型,系统分析了底层电介质单元横向周期占空比、纵向相邻电介质单元宽度差值、介质层纵向周期占空比以及脊柱与基底之间夹角等结构参数对Morpho蝴蝶鳞片光学特性的影响。揭示了蝴蝶鳞翅结构色的显色机理,为具有环境检测功能的仿生微纳结构和器件的设计、制造和应用提供了理论指导。
杨雪峰史铁林左海波江轩廖广兰
关键词:生物光学光学特性严格耦合波理论
基于严格耦合理论的宽光谱金属介质膜光栅衍射特性分析被引量:10
2011年
基于严格耦合理论建立了金属介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE模式金属介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率和工作带宽为评价函数,对金属介质膜光栅的表面浮雕结构进行了优化设计.对于800nm和1053nm为中心的TE,设计的金属介质膜光栅-1级衍射效率优于97%的工作带宽分别达到130nm和150nm,最后讨论了设计的宽光谱高衍射效率金属介质膜光栅的制备工艺容差.此研究对于提高脉宽压缩光栅的性能具有重要的意义.
孔伟金王书浩魏世杰云茂金张文飞王心洁张蒙蒙
关键词:衍射效率严格耦合波理论
基于严格耦合理论的亚长光栅优化设计被引量:3
2010年
长衍射光栅的衍射效率不但与入射光的特性有关,而且与光栅结构和折射率等参数有关。采用严格耦合理论对亚长光栅的衍射效率公式进行了推导,对不同光栅结构参数(周期、槽深,占空比)和光栅脊、槽的折射率的亚长衍射光栅的衍射效率进行了数值计算并用MatLab软件进行仿真模拟,光栅槽深与周期的比值为0.425,占空比为0.507,并且光栅脊、光栅槽的折射率为2.37时,得到具有最佳滤和衍射效果的亚长光栅的优化结构。
夏纪朝黄元申朱冬月
关键词:亚波长光栅严格耦合波理论优化设计

相关作者

孔伟金
作品数:129被引量:316H指数:10
供职机构:青岛大学
研究主题:宽光谱 衍射效率 性能分析 严格耦合波理论 亚波长光栅
吴建宏
作品数:219被引量:265H指数:9
供职机构:苏州大学
研究主题:光栅 全息光栅 衍射效率 全息 离子束刻蚀
蔡怀宇
作品数:200被引量:893H指数:14
供职机构:天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室
研究主题:图像处理 激光雷达 衍射效率 严格耦合波理论 波前编码
云茂金
作品数:95被引量:335H指数:11
供职机构:青岛大学
研究主题:宽光谱 衍射效率 光瞳滤波器 液晶 超分辨
黄战华
作品数:289被引量:985H指数:14
供职机构:天津大学
研究主题:图像处理 光栅 轮胎 衍射效率 少模光纤