搜索到 篇“ 下一代光刻技术 “的相关文章

相关作者

李涤尘
作品数：1,465被引量：4,202H指数：27
供职机构：西安交通大学
研究主题：3D打印 增材制造 光固化 激光 连续纤维
丁玉成
作品数：428被引量：1,161H指数：17
供职机构：西安交通大学
研究主题：压印 纳米压印 压印光刻 电场诱导 光栅
刘红忠
作品数：299被引量：187H指数：7
供职机构：西安交通大学
研究主题：压印 压印光刻 光栅 光栅尺 纳米压印
胡松
作品数：466被引量：428H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
卢秉恒
作品数：1,175被引量：5,119H指数：28
供职机构：西安交通大学
研究主题：增材制造 压印 光固化 压印光刻 金属